SiC Keramika

Keramika SiC se stále častěji používá v polovodičových zařízeních, hlavně proto, že lépe odolává náročnějším podmínkám. Když se teplota zvýší nebo proces stane agresivnějším, materiály jako křemen nebo křemík mohou začít vykazovat svá omezení a právě zde obvykle přichází na řadu SiC. V procesech v peci, jako je oxidace nebo difúze, mají součásti, jako jsou lodičky nebo lopatky vyrobené z SiC, tendenci vydržet déle. Zachovávají si tvar a nezpůsobují velké znečištění, a to ani po dlouhých sériích. Z tohoto důvodu lidé často přecházejí z křemene, zejména když je údržba příliš častá.

Pro leptání se SiC často volí jednoduše proto, že déle přežívá v plazmatu. Rozdíl v životnosti ve srovnání s křemíkovými součástkami je v mnoha nastaveních znatelný, i když stále závisí na přesném procesu. Pomáhá také trochu s regulací částic, která se stává citlivější s tím, jak se uzly zmenšují. SiC se také může používat jako susceptory v MOCVD nebo CVD. V těchto případech nejde ani tak o „pevnost“ jako spíše o udržení stabilního teplotního chování. Kromě toho se objevuje v částech komor, jako jsou vložky nebo sprchové hlavice, a někdy i v manipulačních součástkách.