EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Porézní keramické vakuové sklíčidlo
Rychlý detail:
1. Jiné názvy: Porézní keramické vakuové sklíčidlo, porézní SiC sklíčidlo, porézní sklíčidlo.
2. Použití: Vysoce výkonné vakuové adsorpční zařízení určené pro přesnou adsorpci a fixaci destiček a ingotů, vhodné pro výrobu polovodičů, řezání destiček, přesné obrábění, vysokoteplotní epitaxi, leptání, iontovou implantaci a další scénáře.
3. Základní parametry:
Nastavitelná poréznost (10–200 μm).
Ultra vysoká teplota (≤1600 °C), vynikající odolnost vůči tepelným šokům.
Adsorpční vakuum: standardní -90 kPa (lze přizpůsobit na 100 kPa).
Velikost přísavky: Podpora destiček 4/6/8/12 palců, velikost ingotu lze přizpůsobit.
Popis
Keramický vakuový upínač je vysoce výkonné vakuové adsorpční zařízení určené pro přesnou adsorpci a fixaci destiček a ingotů. Používá kompozitní strukturu z porézního keramického a kovového vnějšího kroužku v kombinaci s individuálně navrženými vzduchovými kanály a póry pro dosažení rovnoměrného rozložení adsorpční síly a vysoké stability. Je vhodný pro výrobu polovodičů, řezání destiček, přesné obrábění a další scénáře, podporuje prostředí s vysokými teplotami a vysokou rychlostí pohybu a splňuje požadavky na kompatibilitu s různými velikostmi destiček/ingotů.
Přizpůsobená služba
Přizpůsobení velikosti a zatížení
Optimalizace průduchů a dýchacích cest
Adaptace na speciální prostředí
Příklad návrhu
Aplikace
Výroba polovodičů
Epitaxní růst: Stabilní adsorpce SiC destiček při vysokých teplotách, aby se zabránilo deformaci a kontaminaci.
Litografie a leptání: Přesné polohování na vysokorychlostní pohyblivé platformě (zrychlení ≤10G) pro zajištění přesnosti grafického zarovnání.
Zpracování ingotů
Řezání a broušení: Adsorpce ingotů z těžkých krystalů (jako je safír, karbid křemíku) pro potlačení praskání hran způsobeného vibracemi.
Vědecký výzkum a speciální technologie
Žíhání za vysokých teplot: porézní přísavky z karbidu křemíku pracují dlouhodobě při 1600 °C bez deformace a odvětrávání a znečištění.
Vakuové lakování: Vysoce vzduchotěsná konstrukce, kompatibilní s prostředím dutin PVD/CVD.
Konkurenční výhoda
Základní struktura a materiálové výhody
1. Vícevrstvý kompozitní design
Povrchová vrstva: Porézní keramika (volitelně porézní karbid křemíku nebo porézní grafit), nastavitelná clona (10–200 μm) pro zajištění rovnoměrného přenosu adsorpční síly na povrch destičky a zabránění lokální koncentraci napětí.
Matice: Vysoce pevný kovový rám (nerezová ocel nebo hliníková slitina) pro zajištění strukturální opory a vzduchotěsnosti.
Dýchací cesty a póry: Vnitřní síť přesně opracovaných dýchacích cest a rovnoměrně rozložených mikropórů podporuje rychlou vakuovou extrakci (adsorpční síla až -90 kPa) a okamžité uvolnění.
2. Porovnání materiálových vlastností
| Materiál | Porézní karbid křemíku | Porézní grafit |
| Teplotní odolnost | Ultra vysoká teplota (≤1600 °C), vynikající odolnost proti tepelným šokům | Středně vysoká teplota (≤800 °C), lepší tepelná vodivost |
| Chemická odolnost | Odolnost proti kyselinám a zásadám, odolnost proti plazmové korozi | Odolné vůči neoxidujícím plynům, nižší náklady |
| Použitelná scéna | Vysokoteplotní epitaxe, leptání, iontová implantace | Řezání, broušení, balení oplatek |
3. Klíčové výkonnostní a technické parametry
| Popis | Poznámka |
| Velikost sklíčidla | Podpora 4/6/8/12 palcových destiček, velikost ingotu lze přizpůsobit |
| Načítání | Maximální zatížení jedné desky 50 kg (výška ≤300 mm) |
| Pracovní teplota | Porézní karbid křemíku: -50 °C~1600 °C; Porézní grafit: -50 °C~800 °C |
| Adsorpční vakuum | Standardní -90 kPa (přizpůsobitelné na -100 kPa) |
Nejčastější dotazy
Otázka: Jak vybrat upínač z porézního karbidu křemíku a porézního grafitu? Jaké jsou hlavní rozdíly mezi upínačem z porézního karbidu křemíku a porézního grafitu ve vysokoteplotních procesech? Jak vybrat správný materiál pro daný scénář použití?
A: Porézní sklíčidlo z karbidu křemíku:
Teplotní odolnost: může stabilně pracovat při extrémně vysokých teplotách ≤1600 °C (jako je epitaxe SiC, žíhání za vysokých teplot), vynikající odolnost vůči tepelným šokům, vhodná pro prostředí s drastickými teplotními výkyvy.
Odolnost proti korozi: odolává silné erozi kyselinami, zásadami a plazmatem, vhodná pro leptání, iontovou implantaci a další procesy s korozivními plyny.
Porézní grafitové sklíčidlo:
Tepelná vodivost: Vyšší tepelná vodivost (200–400 W/m·K), vhodná pro scénáře vyžadující rychlý přenos tepla (například odvod tepla při řezání destiček).
Ekonomika: Nízké náklady, vhodné pro prostředí se střední teplotou ≤800 °C (například balení, mletí).
Návrhy na výběr:
Pokud je procesní teplota vyšší než 800 °C nebo je požadována odolnost proti korozi, je vhodnější porézní karbid křemíku; pokud je kladen důraz na nákladovou efektivitu a nízkou procesní teplotu, lze zvolit porézní grafit.
