Glass Carbon Coating

Skelný uhlíkový povlak se obvykle používá, když je čistota důležitější než cokoli jiného. Vytváří hladší a inertnější povrch grafitu, což pomáhá snižovat tvorbu částic během provozu.

Uvidíte ho v aplikacích, jako je růst krystalů křemíku, epitaxe nebo susceptory MOCVD. V některých případech se používá i mimo polovodiče, například v metalurgickém obrábění.

Jedním zajímavým případem použití jsou systémy MBE. Díky svému vyššímu elektrickému odporu může pomoci určitým součástem dosáhnout provozní teploty efektivněji, někdy bez nutnosti dalšího chlazení. Není to nejběžnější povlak, ale ve specifických prostředích – zejména tam, kde je přísná kontrola kontaminace – může být praktickou volbou.