Křemenné díly

Křemen je stále všude ve zpracování polovodičů. Není to nic nového, ale je spolehlivý a většina továren je s jeho chováním obeznámena. Pokud je kontrolována čistota, funguje dobře v difúzních, oxidačních a čisticích krocích.

Mnoho křemenných součástek se používá v pecích nebo nástrojích PECVD. Hlavním očekáváním je stabilita – ne nutně dlouhá životnost, ale předvídatelný výkon. To je obvykle dostatečné pro mnoho standardních procesů.

Křemen má samozřejmě svá omezení. Za určitých podmínek se může opotřebovat rychleji, zejména ve srovnání s SiC. Ale protože je relativně snadno dostupný a není příliš drahý, lidé ho stále hojně používají.