Quartz Ring 150mm

Křemenný prstenec, jako součást vystavená plazmatu, je navržen pro provoz ve vysokoenergetických prostředích při zachování strukturální stability a konzistence procesu.

Klíčové informace o produktu

Materiál a výhody

Křemenný kroužek AMAT 150 mm je vyroben z polovodičového taveného křemene (SiO₂), materiálu široce uznávaného pro svůj vynikající výkon v prostředí plazmového zpracování.

Klíčové výhody taveného křemene:

Ultranízká kontaminace

Vysoce čistý křemen obsahuje extrémně nízké hladiny kovových nečistot, což minimalizuje riziko kontaminace destiček a podporuje pokročilé standardy výroby polovodičů.

Vynikající odolnost proti plazmatu

Křemen nabízí silnou odolnost vůči iontovému bombardování a plazmové erozi, díky čemuž je vhodný pro dlouhodobé použití v naprašovacích a plazmových komorách.

Vysoká tepelná stabilita

Materiál si zachovává svou strukturální integritu i při vysokých teplotách a rychlých tepelných cyklech, což zajišťuje konzistentní výkon během zpracování.

Elektrické izolace

Křemen jako nevodivý materiál pomáhá stabilizovat elektrické pole uvnitř komory, což přispívá k rovnoměrnému rozložení plazmatu.

Chemická inertnost

Křemen je odolný vůči reaktivním plynům používaným v polovodičových procesech, což snižuje degradaci a prodlužuje životnost součástek.

Díky těmto vlastnostem je tavený křemen ideálním materiálem pro součásti komor vystavené plazmatu a vysokým teplotám.

Funkce uvnitř polovodičových zařízení

Křemenný kroužek AMAT 150 mm plní uvnitř plazmových komor několik klíčových funkcí, které přímo ovlivňují stabilitu procesu a kvalitu destiček.

1. Zadržování a kontrola plazmy

Křemenný prstenec pomáhá definovat oblast hranice plazmatu, řídí distribuci iontů a stabilizuje chování plazmatu v komoře. To přispívá k opakovatelným a konzistentním procesním podmínkám.

2. Optimalizace uniformity hran

Kroužek, umístěný blízko okraje destičky, hraje důležitou roli v:

● Regulace hustoty plazmatu na obvodu destičky

● Snížení okrajových efektů

● Zlepšení rovnoměrnosti leptání nebo nanášení

To je nezbytné pro udržení kontroly kritického rozměru (CD) a celkového výtěžku destiček.

3. Ochrana komory

Jako obětní složka absorbuje křemenný prstenec:

● Naprašované materiály

● Vedlejší produkty leptání

● Expozice plazmy

To pomáhá chránit kritické součásti komory, jako jsou kovové stěny, vložky a elektrostatické upínače, před poškozením a kontaminací.

4. Zvýšení stability procesu

Zachováním konzistentní geometrie a materiálových vlastností křemenný prsten podporuje:

● Stabilní průtok plynu

● Řízená interakce plazmatu

● Snížená tvorba částic

To v konečném důsledku vede ke zlepšení opakovatelnosti procesu a zkrácení prostojů.