Loď z vysoce čistého SiC

Lodička z vysoce čistého karbidu křemíku (SiC) je vysoce výkonný keramický nosič určený pro vysokoteplotní polovodičové procesy, růst krystalů a přesné tepelné zpracování. Je slinutá s ultračistým SiC materiálem a má vynikající odolnost vůči vysokým teplotám, tepelným šokům a chemickou stabilitu. Je široce používána v difuzi polovodičů, CVD, LED epitaxi a růstu fotovoltaických monokrystalů.

Aplikace:

Vysoce čistý SiC člun je klíčový spotřební materiál pro polovodičové procesy, používaný hlavně k přepravě a přenosu křemíkových destiček ve vysokoteplotním prostředí a široce se používá v difúzních, oxidačních, žíhacích a CVD procesech křemíkových destiček. Je obzvláště vhodný pro vysokoteplotní procesy polovodičů třetí generace (jako je SiC/GaN) a výkonových zařízení.

Služby, které lze poskytnout:

analýza scénářů zákaznické aplikace, porovnávání materiálů, řešení technických problémů.

Profil společnosti:

Semixlab má 2 laboratoře, tým odborníků s 20 lety zkušeností s materiály, s výzkumnými a vývojovými a výrobními, testovacími a ověřovacími kapacitami.

Technické parametry

Hlavní pole aplikace

Ověření ekologického řetězce

Společnost Semixlab High-Purity SiC Boat provádí ověřování ekologického řetězce od surovin až po výrobu, prošla mezinárodní certifikací a disponuje řadou patentovaných technologií, které zajišťují její spolehlivost a udržitelnost v oblasti polovodičů a nových energií.

Typický proces podávání žádostí

Příprava suroviny (vysoce čistý prášek SiC) → Tvářecí proces (suché lisování/izostatické lisování) → Slinovací proces → Obrábění a povrchová úprava (CNC broušení/leštění, chemické leptání, žíhání) → Čištění a CVD povlakování → Kontrola kvality → Balení

Díky špičkové optimalizaci procesních parametrů zajišťuje unikátní konstrukční řešení lodičky Semixlab High-Purity SiC vynikající stabilitu destiček a zároveň výrazně snižuje riziko kontaminace částicemi. Její životnost může dosáhnout 5–8krát delší než u tradičních křemenných lodiček, což z ní činí ideální nosičové řešení pro vysokoteplotní zpracování destiček. Tato inovace jí umožňuje postupně nahradit dovoz na trhu s polovodiči a poskytnout vysoce výkonné a cenově efektivní domácí řešení.

Pro podrobné technické specifikace, odborné dokumenty nebo dohody o testování vzorků kontaktujte prosím náš tým technické podpory, který vám pomůže zjistit, jak může Semixlab zvýšit efektivitu vašich procesů.

Výhody lodního jádra Semixlab High-Purity SiC

1. Extrémní čistota (klíčová výhoda)

Semixlab High-Purity SiC Boat má ultra vysokou čistotu (≥99.9999 %) a obsah nečistot (Fe, Al, Na atd.) je kontrolován na úrovni 1 ppm, aby se zabránilo kontaminaci destiček nebo epitaxních materiálů, což je obzvláště vhodné pro výrobu polovodičů SiC/GaN.

2. Chemická inertnost (odolnost proti korozi)

Odolný vůči erozi kyselinami, alkalickými látkami/plazmou a korozivním plynům, jako je HF, HCl, H2 (například při leptání polovodičů). Při vysokých teplotách se plyn neuvolňuje.

3. Mechanická pevnost a životnost

Ultra vysoká tvrdost, vynikající odolnost proti opotřebení, snižuje riziko uvolňování částic a prodlužuje životnost (obvykle 3 až 5krát více než u křemenné lodičky). Není snadno deformovatelný při vysokých teplotách, zachovává rovinnost destičky (například deformace v difuzní peci <0.1 mm).

4. Kompatibilita procesů

Přizpůsobitelné různým náročným prostředím, oxidačně-redukčním atmosférám (jako je O2, H2, Ar) a procesům CVD/PVD povlakování. Povrch lze upravit, například leštěním (Ra < 0.1 μm) nebo povlakováním (jako je SiO2) pro další snížení kontaminace.