Kelímek z uhlíkového kompozitu

Při růstu krystalů křemíku (Czochralského proces) se kelímek C/C používá především jako strukturální podpůrný a tepelně stabilizační prvek obklopující vnitřní kelímek z taveného oxidu křemičitého. Jeho nízká tepelná roztažnost, vysoká mechanická pevnost a vynikající odolnost vůči tepelným šokům pomáhají udržovat geometrii kelímku během dlouhých cyklů tažení, čímž se snižuje deformace křemene a umožňuje rovnoměrnější teplotní gradienty. To přímo přispívá ke zlepšené kontrole dislokací, delší životnosti křemenného kelímku a větší uniformitě výsledného monokrystalického křemíkového ingotu.

V rámci epitaxních systémů z křemíku a karbidu siliku slouží kompozitní kelímek z uhlíku a uhlíku jako stabilní vysokoteplotní nosič a komponent pro tepelnou regulaci, který podporuje susceptory a struktury pro uchycení destiček. Schopnost kompozitu zachovat si tuhost a chemickou inertnost v prostředí s vodíkem, chlorem nebo vysokým vakuem je nezbytná pro minimalizaci kontaminace a dosažení předvídatelného tepelného výkonu. Výsledkem je konzistentnější tloušťka epitaxní vrstvy, vyšší kvalita povrchu pro dané zařízení a delší provozuschopnost reaktoru.

Pro růst monokrystalů SiC pomocí fyzikálního transportu páry (PVT) se kelímek C/C stává klíčovou součástí sublimační komory. Mimořádná vysokoteplotní schopnost kompozitů uhlík-uhlík – přesahující 2200 °C v inertní atmosféře – umožňuje kelímku odolávat prodlouženým sublimačním cyklům a zároveň si udržovat stabilní tepelné pole, které je klíčové pro redukci defektů v boulích SiC. Jeho nízký obsah nečistot a minimální tvorba částic snižují riziko neúmyslného dopování a šíření mikrotrubiček, což podporuje výrobu vysoce kvalitních krystalů SiC 4H a 6H používaných v pokročilé výkonové elektronice.

Kelímek Semixlab C/C, navržený pro polovodičové materiály nové generace, umožňuje vyšší produktivitu, delší životnost nástrojů a vynikající kvalitu krystalů napříč různými výrobními platformami. Kelímek Semixlab z uhlíkovo-uhlíkového kompozitu se vyrábí za přísné kontroly procesů, včetně výběru vysoce čistých prekurzorů, vícestupňového zhutňování a patentovaných povrchových úprav. Výsledkem je kelímek s vynikající rozměrovou stabilitou, zvýšenou odolností proti oxidaci a výrazně sníženým uvolňováním částic ve srovnání se standardními grafitovými alternativami. Každý produkt prochází přesnou kontrolou a tepelně-mechanickou validací, aby byl zajištěn konzistentní výkon v průmyslových stahovačích CZ, vertikálních/horizontálních epitaxních reaktorech a pecích SiC PVT.