EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Pyrolytický uhlíkově potažený grafitový kroužek
Grafitové kroužky s pyrolytickým uhlíkovým povlakem od společnosti Semixlab jsou navrženy pro vysokoteplotní prostředí polovodičové epitaxe, kde je kritická tepelná stabilita, kontrola čistoty a konzistence procesu. Tyto komponenty, navržené s hustým pyrolytickým uhlíkovým povlakem na vysoce čistých grafitových substrátech, poskytují vynikající chemickou odolnost, nízkou tvorbu částic a vynikající tepelnou rovnoměrnost během zpracování destiček. Kontaktujte Semixlab ještě dnes a prozkoumejte zakázková řešení s pyrolytickým uhlíkovým povlakem pro vaše aplikace polovodičové epitaxe.
Popis
Zde zobrazený grafitový kroužek se používá v zařízeních pro růst krystalů karbidu křemíku. Obvykle se instaluje kolem oblasti tepelného pole uvnitř pece a během procesu růstu krystalů spolupracuje s dalšími grafitovými částmi.
Tento typ kroužku se běžně používá v růstových systémech PVT, kde teplota pece zůstává po dlouhou dobu extrémně vysoká. Vzhledem k provoznímu prostředí uživatelé obvykle kroužek po určitém počtu cyklů vymění, místo aby jej používali trvale.
Základním materiálem je obráběný grafit s povrchovou vrstvou PyC. Ve srovnání s neošetřeným grafitem je potažený povrch stabilnější při provozu za vysokých teplot a je méně pravděpodobné, že uvolňuje částice uvnitř komory.
V praktické výrobě mnoho zákazníků tyto kroužky opakovaně nakupuje jako součást běžné údržby pece a plánování výroby.
Vlastnosti produktu
Povrchová vrstva PyC
Na grafitový povrch je nanesen pyrolytický uhlíkový povlak pro zlepšení stability za podmínek vysokých teplot.
Pro růst krystalů SiC
Používá se hlavně v pecích pro růst krystalů karbidu křemíku a souvisejících systémech tepelného pole.
Stabilní stav povrchu
Povlak pomáhá udržovat čistší pracovní povrch během dlouhých ohřívacích cyklů.
Opakovaná dávková výroba
Stejné specifikace lze dodávat průběžně pro zákazníky provozující více pecí.
Obrábění dle výkresů
Velikost a strukturu lze upravit podle různých konstrukcí pecí.
Výroba a dodávky
Různé konstrukce pecí vyžadují různé konfigurace grafitu, takže většina prstenců se vyrábí podle výkresů zákazníka nebo stávajících vzorků.
Během výroby se před odesláním kontrolují rozměry a tloušťka povlaku. Pro zákazníky, kteří používají velká množství v kontinuální výrobě, je obvykle jednou z hlavních priorit stabilní opakovatelnost mezi šaržemi.
Někteří uživatelé si objednávají jen několik kusů na testování, zatímco jiní nakupují větší množství pravidelně pro dlouhodobé výrobní použití.
Semixlab
Společnost Semixlab dodává grafit a potažené grafitové produkty používané v polovodičovém a krystalovém průmyslu. Produkty lze vyrobit dle požadavků aplikace, konstrukce pece a specifikací zákazníka.
TECHNICKÉ ÚDAJE
Technické informace
| Parametr povlaku pyrolytického uhlíku (PyC) | ||
| Položka | Jednotka | hodnota |
| Krystalická struktura | Šestiúhelníkový | |
| SMĚR | Orientováno nebo neorientováno podél směru 001 | |
| Objemová hustota | g / cm3 | ~ 2.25 |
| Mikrostruktura | Polykrystalický/vícevrstvý grafen | |
| Tvrdost | GPa | 1.2 |
| Elastický modul | GPa | 11 |
| Typická tloušťka | um | 30 ± 5um |
| Drsnost povrchu | um | 1.5 |
| Čistota produktu | ppm | ≤5ppm |
Aplikace
-Růst krystalů karbidu křemíku
-PVT pece
-Grafitové sestavy s tepelným polem
-Součásti vysokoteplotní pece
-Grafitové spotřební díly
Naše služby
Obchod s produkty Semixlab
