Polovodičový křemenný člun

Křemenné lodičky Semixlab Semiconductor pro výrobu destiček jsou klíčové nástroje pro ložiska určené pro vysokoteplotní procesy, jako je difúze, oxidace, CVD, žíhání atd. při výrobě polovodičů. Jsou vyrobeny z vysoce čistého syntetického křemene s vynikající odolností vůči vysokým teplotám, chemickou stabilitou a nízkým koeficientem tepelné roztažnosti, takže mohou stabilně nést destičky v náročných procesních prostředích, čímž je zajištěna konzistence procesu a výtěžnost produktu.

Použitelné zařízení: Kompatibilní se všemi druhy horizontálních/vertikálních difuzních pecí (horizontální/vertikální difuzní pec), systémů LPCVD a zařízení pro rychlé tepelné zpracování (RTP).

Zajištění kvality

Strict quality control: 100% helium mass spectrometry leak detection (leakage rate <1×10⁻⁹ mbar·L/s). Material purity report (ICP-MS test) is issued for each batch.

Certifikační standardy: V souladu se specifikacemi SEMI F47, prostřednictvím certifikace systému managementu jakosti ISO 9001:2015.

Životnost: průměrná životnost za normálních podmínek je více než 2 roky (v závislosti na četnosti procesu a teplotních podmínkách).

Proč si vybrat naši křemennou loď?

Služby na míru: Velikost a konstrukce na míru dle modelu zařízení (TEL, Kokusai, ASM atd.) a požadavků procesu.

Rychlá odezva: Standardní dodací lhůta je 3 týdny, u urgentních objednávek lze zkrátit na 10 pracovních dnů.

Globální servisní síť: Poskytuje technické poradenství, instalační pokyny a poprodejní údržbu. Specifikace materiálů.

Specifikace projektu

Syntéza materiálu z taveného křemene

Čistota ≥99.99 % SiO₂

Kompatibilita velikosti destiček 8", 12" (lze přizpůsobit 6" nebo 18")

Provozní teplota ≤1200 °C (trvale) / 1300 °C (špička)

Součinitel tepelné roztažnosti (CTE) 0.55×10⁻⁶/°C (20–1000 °C)

Drsnost povrchu (Ra) ≤0.2 μm

Standardní kapacita 25/50/100 tablet

Použitelné procesní plyny O₂, N₂, H₂, Ar, SiH₄, HCl atd.

Vysokoteplotní oxidace/difúze: dopování křemíkem (difúze fosforu, boru), růst hradlového oxidu.

Depozice tenkých vrstev: LPCVD polykrystalický křemík, depozice nitridu křemíku (Si₃N₄).

Žíhací proces: žíhání po iontové implantaci (RTA), legování kovů.

Polovodič třetí generace: epitaxní proces s karbidem křemíku (SiC), nitridem galia (GaN).

1. Vlastnosti materiálu

Křemen s ultra vysokou čistotou (>99.99 % SiO₂): zabraňuje znečištění kovovými ionty (Na+, K+, Fe³+ atd.) a splňuje požadavky na čistotu pro pokročilé procesy (uzly <5 nm).

Odolnost proti vysokým teplotám: trvalá provozní teplota 1200 °C, okamžitá teplotní odolnost 1300 °C, žádné riziko deformace nebo krystalizace.

Chemická inertnost: Odolává procesním plynům, jako je HCl, H₂, O₂, SiH₄ a kyselému/alkalickému prostředí. Nekorozivní při dlouhodobém používání.

2. Přesný design

Optimalizujte strukturu:

Přesnost rozteče drážek je ±0.05 mm, což zajišťuje přesné polohování destičky (8/12 palce) a zabraňuje poškrábání nebo posunutí.

Konstrukce odolná vůči teplotním šokům, přizpůsobená rychlému nárůstu a poklesu (rychlost ohřevu ≤20 °C/min).

Nízká tvorba částic: Povrch je ultra precizně leštěn (Ra ≤ 0.2 μm), aby se snížilo ulpívání a odpadávání částic.

3. Diverzifikovaná konfigurace

Volitelná kapacita: Podpora 25 kusů, 50 kusů, 100 kusů a dalších standardních specifikací, lze také přizpůsobit nestandardní číslo slotu.

Typová úprava: Otevřený člun, Uzavřený člun nebo speciální typ člunu (například konstrukce obtokového kanálu na dně člunu).

Q1: Můžete poskytnout nestandardní velikost nebo speciální design?

A1: Semixlab podporuje zakázkové služby, včetně úpravy velikosti, horního teplotního limitu (vyžaduje se upgrade materiálu) nebo typu rozhraní. Pro konkrétní požadavky kontaktujte technický tým Semixlab.

Q2: Jak dlouhá je dodací lhůta?

A2: Dodací lhůta pro standardní produkty je 4–6 týdnů a doba návrhu a ověření pro zakázkové produkty je 2–3 týdny.

Q3: Poskytujete poprodejní technickou podporu?

A3: Ano, poskytujeme celoživotní technické poradenství a havarijní služby. V případě problémů s instalací nebo používáním můžete kdykoli kontaktovat tým podpory e-mailem nebo telefonicky.

Q4: Splňuje produkt standardy polovodičového průmyslu?

A4: Ano, výrobní proces splňuje normy SEMI a je certifikován systémem managementu jakosti ISO 9001. Každá šarže je před opuštěním továrny testována na vzduchotěsnost, teplotní odolnost a čistotu.