CVD SiC potažená lodička pro oxidaci a difuzi

V Semixlabu vyrábíme lodě s povlakem SiC pro náročná polovodičová prostředí – kde skutečně záleží na konzistenci, čistotě a dlouhé životnosti.

Začínáme s vysoce čistou keramikou z karbidu křemíku (SiC keramika, čistota nad 99.9 %) a nanášíme hustý CVD povlak z karbidu křemíku (CVD SiC) s čistotou 6N. Díky tomu si naše lodě zachovávají strukturální stabilitu i po opakovaném zahřívání a chlazení a pomáhají snižovat riziko kontaminace během výroby.

Co je to vlastně lodička s povlakem z waferu SiC?

Lodička na destičky je v podstatě nosič, který drží několik destiček během tepelného zpracování. Udržuje destičky ve správném rozestupu a podpoře a zároveň zajišťuje rovnoměrný přenos tepla mezi nimi.

Ve srovnání s konvenčními nosiči grafitových destiček nabízejí pokročilé keramické lodičky z SiC destiček lepší tepelnou stabilitu, kontrolu čistoty a odolnost proti oxidaci v prostředí polovodičových pecí. V agresivních polovodičových podmínkách – v průběhu času – se však můžete setkat s problémy, jako je povrchová oxidace, odlupování částic nebo chemická eroze.

Proto lidé často volí povlak SiC.

Vrstva karbidu křemíku vytváří na grafitovém povrchu hustý ochranný povlak. Zlepšuje:

-Oxidační odolnost

-Chemická odolnost proti korozi

-Tvrdost povrchu

-Řízení částic

- Jak dlouho součástka vydrží

Proto se lodičky s CVD povlakem SiC široce používají v oxidačních pecích, difuzních pecích a dalších vysoce čistých tepelných zpracovatelských systémech.

Klíčové vlastnosti lodiček z destiček Semixlab s povlakem SiC

Vysoce čistý povrch

Nečistoty mohou přímo ovlivnit výtěžnost vašich destiček. Optimalizujeme náš proces povrchové úpravy pro čistotu polovodičové úrovně, abychom mohli minimalizovat kontaminaci kovy během výroby.

Velká tepelná stabilita

Během oxidačního a difuzního zpracování si musí destičkové lodičky zachovat rozměrovou stabilitu a ultračistý povrch i při opakovaných cyklech vysokých teplot. Naše destičkové lodičky jsou navrženy tak, aby si zachovaly své rozměry i při opakovaných cyklech zahřívání a ochlazování.

Nízká tvorba částic

Protože je povrch zhuštěný, je odkryto méně grafitu – což znamená, že se uvolňuje méně částic a získáte čistší procesní prostředí.

Rovnoměrné pokrytí nátěrem

Složité drážkové struktury a rohy vyžadují konzistentní tloušťku povlaku. Náš interní proces povlakování nám pomáhá dosáhnout lepší rovnoměrnosti povrchu v celém dílu.

Možnost zakázkového obrábění

Různé platformy zařízení vyžadují různé rozměry. Podporujeme zakázkové návrhy na základě vašich výkresů nebo procesních požadavků.

Výroba a kontrola kvality

Každá lamelová lodička prochází přesným keramickým obráběním, přípravou povrchu a nanášením vysoce čistého povlaku SiC metodou CVD.

V Semixlabu prochází každý díl:

-Kontrola surovin

-Přesné CNC obrábění

-Povrchové čištění

-CVD SiC povlak

-Ověření rozměrů

- Konečný vzhled a kontrola kvality

Děláme to proto, abyste získali spolehlivý výkon ještě předtím, než se součástka dostane do vašeho nástroje.

Proč zvolit Semixlab?

Jsme specializovaný výrobce polovodičových grafitových a povlakových součástek. Pomáháme zákazníkům s:

-Vlastní technologie lakování

-Flexibilní zakázková výroba

-Rychlá technická komunikace

-Znalost polovodičových procesů

-Stabilní mezinárodní dodavatelská kapacita

Ať už vyvíjíte zařízení, provozujete pilotní linku nebo se věnujete hromadné výrobě, náš technický tým vám může pomoci s vašimi aplikačními potřebami.

Pokud hledáte spolehlivého dodavatele lodiček s povlakem SiC, Semixlab vám může poskytnout řešení na míru na základě vašich výkresů nebo procesních podmínek.

Skutečné specifikace lze upravit v závislosti na podmínkách vaší aplikace.

Naše lodě s povlakem SiC (silikátové destičky) se široce používají v:

● Oxidační pece pro polovodiče

● Polovodičové difuzní pece

● Systémy pro tepelné žíhání

● Zařízení pro tepelné zpracování polovodičů

● Pokročilé aplikace výzkumu a vývoje v polovodičových technologiích

● Žíhací procesy

● Výzkum polovodičových materiálů pro vysoké teploty