EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Piezoelektrické destičky PZT
S explozivním růstem 5G komunikace, přesné medicíny a chytrých nositelných zařízení roste poptávka po vysoce citlivých a nízkopříkonových MEMS měničích. Naše piezoelektrické destičky (PZT na Si/SOI) využívají pokročilé procesy nanášení tenkých vrstev k dosažení výjimečné uniformity a vynikajících piezoelektrických vlastností na křemíkových substrátech a slouží jako základní jádro pro efektivní elektromechanickou přeměnu energie.
Popis
Vlastní služby
Kromě standardizovaných 8palcových PZT destiček nabízíme také rozsáhlé možnosti přizpůsobení specifickým požadavkům našich klientů:
● Rozmanitost substrátu: Podporujeme depozici jak na křemíkových destičkách, tak na destičkách SOI (s rezistivitou > 5000 ohm/cm).
● Úprava tenkých vrstev: Specifické typy a tloušťky tenkých vrstev lze upravit tak, aby splňovaly konstrukční specifikace.
● Flexibilní dimenzování: Nabízíme možnosti zpracování pro wafery o velikosti 6 i 8 palců.
● Destičky dodané zákazníkem: Přijímáme substráty pro růst piezoelektrických tenkých vrstev dodané zákazníkem.
Váš technický partner: Zavázali jsme se poskytovat komplexní podporu – od vývoje materiálů až po strukturální úpravy. Ať už jste ve fázi laboratorního výzkumu a vývoje, nebo ve fázi hromadné výroby, náš technický tým je připraven poskytnout piezoelektrická řešení, která nejlépe vyhovují vašim potřebám.
TECHNICKÉ ÚDAJE
Naše standardní produkty se vyrábějí s využitím 6palcových a 8palcových procesů a vyznačují se sofistikovanými vícevrstvými konstrukčními řešeními, která zajišťují stabilní výkon v rámci komplexních pracovních postupů výroby MEMS.
Parametry struktury vrstev (standardní 8 palců)
| vrstva | Tloušťka | Hodnocení |
| Horní elektroda | na míru | Horní elektroda |
| Piezoelektrická vrstva | na míru | Jádro piezoelektrické vrstvy |
| Buffer Layer | na míru | Vrstva pro řízení orientace zrn |
| Spodní elektroda | 100 nm ± 10 % | Spodní elektroda |
| Adhezní vrstva | na míru | Adhezní vrstva |
| Substrát | na míru | Dostupné varianty 4/6/8 palců |
Klíčové ukazatele výkonnosti (charakteristiky)
● Piezoelektrická konstanta (d31): 200 pC/N — Zajišťuje vysoce účinný mechanický posuvný výstup.
● Piezoelektrický koeficient (e31): −15 C/m² — Poskytuje vysoce citlivou odezvu elektrického náboje.
● Vysoká uniformita: Ověřeno pomocí rentgenové difrakční analýzy, PZT film vykazuje silnou orientaci (100), což zajišťuje výjimečnou uniformitu výkonu v celém waferu.
| Charakteristiky PZT | Polykrystalický PZT |
| Piezoelektrická konstanta d31 | 200 pC/N |
| piezoelektrický koeficient e31 | -14 Kč/m² |
| Curieova teplota | X ℃ |
SEM snímek a rentgenová difrakce
Aplikace
Pět klíčových oblastí použití
1. Piezoelektrické ultrazvukové měniče (pMUT)
Využití vysoké piezoelektrické konstanty tenkých vrstev PZT k vytvoření vysokofrekvenčních, miniaturizovaných ultrazvukových polí. Široce se používá v systémech rozpoznávání otisků prstů pod displejem, snímání gest a automobilových ultrazvukových radarových systémech.
2. VF filtry a komunikace (VF MEMS)
V komunikačních systémech 5G a 6G jsou vysoce výkonné piezoelektrické materiály klíčové pro výrobu filtrů FBAR a SAW, což umožňuje širší šířku pásma a nižší vložné ztráty.
3. Akustické MEMS (reproduktory/mikrofony)
Posiluje MEMS reproduktory s vynikající přechodovou odezvou a hladinou akustického tlaku (SPL) a zároveň zvyšuje poměr signálu k šumu (SNR) MEMS mikrofonů pro umožnění záznamu zvuku ve vysokém rozlišení.
4. Přesné řízení kapalin (inkutové tiskové hlavy)
Využívá vysokorychlostní vibrace v režimu d31 k dosažení přesnosti na úrovni nanolitrů v regulaci objemu kapiček inkoustu; slouží jako základní ovládací prvek pro průmyslové inkoustové tiskové systémy s vysokým rozlišením.
5. Lékařská estetika a mikropumping
Pohon lékařských nebulizérů a estetických ultrazvukových pump. Využíváním kompaktních rozměrů a vysoké spolehlivosti tenkých vrstev PZT umožňujeme efektivní atomizaci a přesné podávání tekutých léčiv.
