EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Lodička a nosič z křemenných destiček polovodičové kvality
Vysoce čistá křemenná lodička Semixlab – označovaná také jako nosič nebo kazeta pro křemenné destičky – je tepelně-polní součástka, která se hojně používá při zpracování polovodičů za vysokých teplot. Je vyrobena z ultračistého taveného oxidu křemičitého (SiO₂ ≥ 99.999 %) a slouží jako strukturální nosič pro křemíkové, SiC a GaN destičky v krocích tepelné difúze, oxidace, žíhání, LPCVD a PECVD.
Popis
Přehled produktů
Křemenné lodičky Semixlab, vyráběné pod přísnou kontrolou kvality, si udržují celkovou hladinu kovových nečistot pod 15 ppm (ověřeno metodou GDMS nebo ICP‑OES) a nabízejí variantu s nízkým obsahem hydroxylových skupin < 5 ppm. Tyto produkty vykazují silnou odolnost vůči prohýbání, deformaci a kontaminaci kovem během náročných vysokoteplotních operací pecí.
Dostupné úpravy
Semixlab podporuje zakázkové lodě z křemenných destiček – včetně žebříkových loděk, loděk s horizontálními deskami, skořepinových loděk a přepravních zařízení – vyrobené dle výkresů zákazníků, CAD souborů a specifikací zařízení.
TECHNICKÉ ÚDAJE
Klíčové specifikace a technické vlastnosti
| Vlastnictví | Hodnota Semixlabu | Prospěch |
| Chemická čistota | Si02 > 99.999 %; Fe, Cu, Li, Na, K < 15 ppm | Minimalizuje kovovou kontaminaci |
| Obsah hydroxylových skupin | Nízký obsah OH < 5 ppm; Standardní < 30 ppm | Zlepšuje stabilitu při vysokých teplotách |
| Pracovní teplota | 1200 °C trvale / 1300 °C špičkově | Zachovává tuhost během cyklů pece |
| Teplotní roztažnost | 0.45 x 10⁻⁶/°C | Vynikající odolnost proti tepelným nárazům |
| Přesnost rozteče drážek | ± 0.05 mm | Spolehlivá robotická manipulace s wafery |
| povrchová úprava | Žíhané plamenem / Mikroleštěné (Rz < 0.8 μm) | Snižuje množství částic a mikrotrhlin |
Aplikace
Procesní aplikace
· Pece pro termickou oxidaci a žíhání
· Procesy difúze dopantu bóru / fosforu
· Depozice tenkých vrstev metodou LPCVD a PECVD
· Výroba polovodičů třetí generace (SiC a GaN)
Konkurenční výhoda
Hlavní hodnotová nabídka a technické výhody
1. Submikronové obrábění a přesné drážkování
Pokročilé CNC laserové obrábění a diamantové drážkování nám poskytují přesnou kontrolu nad geometrií drážek, což podporuje automatizované zavádění destiček a pomáhá předcházet jejich poškození.
2. Tavený křemen s ultranízkým obsahem hydroxylových skupin a vysokou viskozitou
Náš speciální tavený křemen s nízkým obsahem OH poskytuje dobrou strukturální stabilitu a minimalizuje změny tvaru během dlouhých tepelných cyklů nad 1100 °C.
3. Ochrana povrchu leštěného ohněm
Žíhání plamenem a chemické leštění zvyšují hustotu povrchu, zlepšují odolnost proti čištění a snižují tvorbu částic.
4. Kompatibilita s OEM zařízeními
Nabízíme zakázkové náhradní křemenné lodě pro systémy tepelného zpracování TEL, ASM, Kokusai, SVCS, LPE a další.
Naše služby
