Vysoce čistá křemenná difuzní trubice

Difuzní trubice z vysoce čistého křemene Semixlab je speciálně navržena pro vysokoteplotní tepelné procesy při výrobě polovodičů, včetně oxidace, difúze dopantu a žíhání.

Každá trubice je vyrobena z ultračistého taveného oxidu křemičitého (≥99.99 % SiO₂) a je navržena tak, aby poskytovala výjimečnou chemickou stabilitu, minimální kontaminaci a přesnou tepelnou rovnoměrnost – což zajišťuje konzistentní výsledky zpracování destiček v náročných čistých prostorách.

Ať už jsou křemenné trubice Semixlab integrovány do vertikálních nebo horizontálních difuzních pecí, jsou přesně tvarované a důkladně testované, aby splňovaly přísné požadavky na výrobu integrovaných obvodů, LED, MEMS a výkonových zařízení.

Aplikace v polovodičových procesech

1. Tepelná oxidace

V pecích pro termickou oxidaci fungují křemenné difuzní trubice jako primární reakční komora, kde jsou křemíkové destičky vystaveny párám O₂ nebo H₂O při zvýšených teplotách (900–1150 °C).

● Poskytuje čisté a stabilní kyslíkové prostředí pro rovnoměrný růst SiO₂.

● Eliminuje kontaminaci kovovými ionty a zajišťuje vysokou dielektrickou integritu hradlových a izolačních oxidů.

Difuzní trubice z vysoce čistého křemene je ideální pro zpracování destiček

2. Difúze dopantu

Křemenné difuzní trubice se používají k difuzi atomů dopantu (jako je fosfor nebo bor) do křemíkového substrátu za účelem vytvoření požadovaných profilů spojení.

● Vynikající chemická inertnost zabraňuje kontaminaci během reakcí s POCl₃ nebo BBr₃.

● Zachovává vysokou čistotu i v halogenových atmosférách.

3. Žíhání a procesy drive-in

Po iontové implantaci nebo depozici se destičky podrobují žíhání za vysoké teploty, aby se aktivovaly příměsi a opravilo poškození mřížky.

● Křemenné trubice poskytují tepelně rovnoměrnou komoru s nízkou kontaminací pro stabilní a reprodukovatelné výsledky.

● Vhodné pro žíhací prostředí v atmosféře N₂ i formovacího plynu.

4. LPCVD a výzkum a vývoj v oblasti tepelného zpracování

V malých LPCVD nebo výzkumných pecích mohou křemenné difuzní trubice sloužit jako reakční i kontejnmentová komora.

● Ideální pro nanášení polykřemíkových, nitridově křemíkových a oxidových filmů.

● Zajišťuje nízkou tvorbu částic a vysokou opakovatelnost napříč běhy.

Výhody Semixlabu

1. Čistota a sledovatelnost materiálu

Každá křemenná trubice je vyrobena z ultračistého taveného oxidu křemičitého od certifikovaných dodavatelů. Zprávy z analýzy ICP-MS jsou k dispozici na vyžádání, což zaručuje sledovatelnost každé šarže.

2. Přesná výroba a úpravy na míru

Společnost Semixlab nabízí zakázkové návrhy, které splňují specifické rozměry pecí, tepelné profily a vzorce proudění plynu požadované zákazníky.

Možnosti zahrnují:

● Vertikální nebo horizontální konfigurace trubek

● Zakázkové průměry, tloušťky stěn a koncové příruby

● Leštěné nebo leptané povrchové úpravy

● Speciální manipulační konstrukce pro nosiče více destiček

3. Důkladné testování a zajištění kvality

Každá difuzní trubice prochází před odesláním rozměrovou kontrolou, testováním povrchové integrity a simulací tepelného namáhání. To zajišťuje kompatibilitu s předními systémy difuzních pecí v oboru, jako jsou TEL, Kokusai, Centrotherm a ASM.